New-Tech Military Magazine | Q1 2021

(משנת M . Sc ) ותואר 2005 (משנת B . Sc ) מאוניברסיטת קלבריה שבאיטליה, 2008 בהנדסת חשמל מאוניברסיטת Ph . D ותואר ). המחקר שלו מתמקד 2013 לוון שבבלגיה ( ובפיתוח FEOL ו־ CMOS באמינות שערים תלת־ממדיים לטכנולוגיות חדשות ) ושיטות שילוב חדשות SiGe , Ge , III - V ( .) Sequential 3 D ( ז'אן פרנסואהדהמרנףהואחברבכירבצוות הטכני של קבוצת חקר החומרים הכימיים , בלגיה. הוא מחזיק imec והפיזיקה ב־ בפיזיקה מהאוניברסיטה Ph . D בתואר ), עם התמחות ULB החופשית של בריסל ( בסינתזה ואפיון חשמלי/מגנטי של רצועות מוליכות-על רבודות מבוססות נחושת בטמפרטורות גבוהות על בסיס ביסמות. Max - Planck לאחר שעזב את מכון , Institute für Festkörperforschung בתפקיד 2001 בשנת imec הוא הצטרף ל־ מהנדס. מאז הוא התקדם למשרת מדען חוקר עם התמקדות בעיבוד חומרים דו־ ממדיים, חומרים עם מקדם דיאלקטרי נמוך, חקר טכנולוגיות מסכות חדשות, תהליכי המרה ותבניות מעגליות ובהן איכול שכבה באמצעות אטומים. Jean- ז'אן פרנסואה דה מרנף ( ) François de Marneffe

. אבל התצפיות הנ"ל Sequential 3 D כדוגמת מצביעות על כך שייתכן שלגישה הזאת יש טווח יישומים רחב מששערנו. לדוגמה: בתהליך 'החלפת שער', החלפת שלב הליבון בטיפול באטומי מימן יכולה להפוך את כל תהליך הייצור לפשוט יותר. לא רק ששלב הליבון המסורתי מתבצע בטמפרטורה גבוהה מאוד, אלא גם שיש צורך לשתול שער זמני (בדרך כלל עשוי טיטניום־ניטריד סיליקון אמורפי) לשליטה על הדינמיקה + בין הרכיבים הכימיים במהלך תהליך ליבון בטמפרטורה גבוהה ולמניעת זיהום משערי מתכת פחות יציבים. השער הזמני מוחלף לאחר תהליך הליבון בשער המתכת הסופי הנחוץ לצורך השגת מתח הסף הרצוי. באטומי מימן משיג SiO 2 הטיפול בשכבת ה־ יעילות זהה בטמפרטורות נמוכות יותר ויכול לחסוך את כל השלבים הנוספים של תהליך החלפת השער הזמני. כמו כן, תהליך האידוש החדש יכול להפוך לבסיס לארכיטקטורות טרנזיסטור בייצור המוני, כולל השבחת FET תהליכי הייצור של טרנזיסטורים מסוג Nanosheet ) או שער מכל הכיוונים CFET (או , שבהם המרחק בין הטיילים Forksheet או עלול למנוע את יישום השער זמני (עבה יחסית) לפני שלב הליבון. . Phys . org המאמר פורסם לראשונה באתר על המחברים ) Jacopo Franco ג'קופו פרנקו ( ג'קופו פרנקו הוא חבר בכיר בצוות הטכני של קבוצת האמינות והאפיון החשמלי במחלקת האמינות, העמידות והבדיקה , בלגיה. הוא בעל תואר imec המתקדמת ב־

High Reliability Interconnection Powell Electronics in Israel

Connectors, cables, value-added assembly

Quell Glenair Harwin Amphenol Aerospace AB Connectors Lemo Conesys and more…

פריטים נוספים ובדיקת מלאי זמין ניתן למצוא באתר: www.powell.com לפרטים נוספים ניתן לפנות לרונן לינג

+972 )54( 4356804 נייד: +972-77-4701968 פקס: Israel @ powell . com אימייל:

ז'אן פרנסואה דה מרנף « )Jean-François de Marneffe(

)Jacopo Franco ג'קופו פרנקו (

«

31 l New-Tech Military Magazine