New-Tech Magazine | April 2020

האתגר. למשל, צילום במהירות גבוהה מאפשר לצלם גוף בתנועה מבלי שיתבדר, מצד שני חשוב לזכור גם כי כאשר מצלמים מהר מאד אין מספיק אור. . רעשים: מכאניים, אלקטרוניים, 5 תרמיים רעשים אלקטרונים הנובעים מאיכות הגלאים גם מאתגרים את יצרני מכונות המדידה. המינימום האפשרי של להוציא סיגנל תלוי בכמות הפוטונים או האלקטרונים שהמכשיר אוסף, ולכל חיישן יש סף מסוים. הדרך להתגבר על הרעש האלקטרוני היא ע"י ביצוע של בדיקות חוזרות ונשנות ומיצוע של כל הבדיקות. פתרון זה דורש זמן, ומשפיע בסופו של דבר על מחיר המכונה. אם אנחנו צריכים למדוד אלפי נקודות על גבי פרוסת הסיליקון, וכל מדידה אורכת שניה, אז הבדיקה הכוללת של הפרוסה תיקח אלפי שניות - פרק זמן גבוה מדי בעולם שלנו. אם לדוגמא הלקוח פרוסות לשעה אזי מכונת 100 מייצר המדידה לא יכולה להיות החוליה המעכבת בתהליך. רעשי רעידות פוגעים בדיוקים ומחייבים מערכות בידוד מרעשים חיצוניים או כאלו שנוצרים במכונה. פליטת חום תגרום להתפשטות חלקים במכונה וסטיות במערכות אופטיות - מה שמוביל לשגיאות מדידה. המענה לאתגר זה טמון במכונות מהירות בעלות מתקבלת, המשלבות מערכות להנעת פרוסת הסיליקון במהירות רבה וקצב הארה, בפוטונים או אלקטרונים, לשם ייצור אות המאפשר מדידה יציבה ומדויקת. אתגר נוסף הוא הניקיון. בשעה שמכונות המדידה שלנו מבקרות את תהליך הייצור של הלקוח הן עלולות במקביל גם לזהם את פרוסת הסיליקון ולעכב את ייצורה. פרוסת הסיליקון עוברת תהליך ייצור נקי מכל רבב, כולל בזמן נידוף של שכבות, איכול והטמעת יונים. מכונות המדידה נדרשות להימנע מלהוסיף זיהומים – חלקיקים ומולקולות העלולים לשנות את איכות השבב. קרינת מכונות המדידה יכולה לייצר נזק על פני הפרוסה ואף במבנה הפנימי שלה. כך . ניקיון פסח ומניעת נזקים למוצר 6 הנמדד

.overlay - התמונה ממחישה את הצורך במדידות ה « צילום יח"צ קרדיט:

נוצרת מגבלה בשימוש בעוצמת הארה או אנרגיית אלקטרונים כדוגמא.

שלא תעצורנה את תהליך הייצור. אולם הלקוחות היום אינם מסתפקים בכך, הם דורשים כי המכונות ינבאו כישלונות עתידיים של עצמן, לפני שהכשל קורה בפועל ומשפיע על תוצאות המדידה. כך לדוגמא, בזמן שהמכונה נותנת מענה מדויק של בקרת תהליכים, מופיע חיווי

. מניעת הפתעות ונזקים לייצרן ע"י 7 כשל מכונת המדידה מכונות מורכבות כמו מכונות מדידה מצטיינות באמינות גבוהה מאד על מנת

Archer 750 ak KLA מכונת מדידה

«

New-Tech Magazine l 40