Glas und Praxis

SILVERSTAR Herstellung und Veredelung Seit einigen Jahrzehnten werden Isoliergläser mit lichtdurchlässigen, wärmereflektierenden Schichten veredelt. Weltweit hat sich das Hochvakuum-Magnetron-Verfahren als Beschichtungs- technologie durchgesetzt. Dieses Verfahren wird für alle SILVERSTAR Beschichtungen eingesetzt.

Schema einer Hochvakuum-Magnetronanlage

Anlagebedienungsraum und Kontrollstation

Sputterkammern und Kathoden

Kontrollstation

Beschickung

Transfer- und Aus- schleuskammer

Einschleus- und Transferkammer

Wasch- maschine

Entschickung

Prinzip der Kathodenzerstäubung (Sputtern)

Plasmabildung beim Sputterprozess

U = -500 V

Kathode -

Ar-Moleküle (neutral) Ar-Ionen (+) Elektronen (-)

Target Plasma Target Atome

Anode +

+ Anode

Gaseinlass

Gaseinlass

Glasscheibe

Sputtern: Herauslösen von Atomen aus dem Targetmaterial mittels Ionenbeschuss. Vakuum: Ein abgeschlossener Hohlraum ist vom darin enthaltenen Gas mittels geeigneter Vakuumpumpen befreit worden. Kathode: Negative Elektrode einer elektronischen Entladung. Anode: Positive Elektrode einer elektrischen Entladung. Ion: Ein Ion ist ein elektrisch geladenes Molekül, dem ein oder mehrere Elektronen fehlen. Nanometer: 1 Nanometer = 10 –9 m = 1 Milliardstel Meter bzw. 1 Millionstel Millimeter

Glasbeschichtungen I 187