New-Tech Magazine | OCT 2019 | DIgital Edition

מוצלחת IITC 2019 ועידת שנערכה בבריסל, בלגיה חלק מהתוצאות שהוצגו לעיל הוצגו גם (ועידת הטכנולוגיה 2019 בשנת IITC בוועידת International הבינלאומית לחיבורים פנימיים - ) של Interconnect Technology Conference , הוועידה הראשונה במעלה לטכנולוגיה IEEE של חיבורים פנימיים שהוקדשה לאינטגרציה מתקדמת של מיתוך (מטליזציה) ותלת ממד . ULSI ) עבור יישומי מעגלים משולבים ב- 3 D ( אחת לשש שנים ועידת הטכנולוגיה השנתית הזו נערכת בבריסל, בלגיה, השנה עם זולט טוקיי כיו"ר משותף כללי של הוועידה. 93 - משתתפים מ 260 : זולט טוקיי מוסדות ברחבי העולם, המייצגים חברות, אוניברסיטאות ומרכזי מו"פ פקדו את הוועידה. באופן כללי, הייתה זו מהדורה מוצלחת של ועידה שאופיינה בתוכנית טכנית ברמה גבוהה ובסדנאות בנושא 'חומרים בתעשיית המוליכים למחצה: פותרים את הפאזל'. מאחר שהמדובר במגמה ראויה לציון, פקדו את הוועידה יצרני זיכרונות רציניים שאישרו את הצורך במוליכים חלופיים עבור זיכרונות, במיוחד עבור הקו תלת NAND העולמי של זיכרונות הבזק מסוג ממדיים. 11 לוועידה הייתה imec תרומתה של חברת מאמרים (מקום ראשון ברשימת המחברים) וכמה מצגות על כרזות – שהקיפו שדרוג מרווחי מתכת, אפשרויות תהליכים חדשים עבור חיבורים פנימיים, מוליכים חדשים וחומרים דיאלקטריים חלופיים ומחקרי אמינות עבור יישומי זיכרון ויישומי לוגיקה. מידע נוסף בנושא אמצעי imec הודעה לעיתונות של ■ 21 בדיקה לטכנולוגית דמשק כפולה במרווחי . press release ננו מטר פרטים נוספים בנוגע לחורי מעבר על ■ imec ) אפשר למצוא במאמר של Supervia ( . imec magazine

הציגה כמה מאמרים בוועידת Imec חברת ■ , בהם גם עבודה שנעשתה לאחרונה IITC 2019 על מבנים של מוליכי מתח שקועים, מוליכים חלופיים, אינטגרציה של טכנולוגית דמשק כפולה וחיבורים היברידיים של גרפן - רוטניום. אפשר לבקש חלק מהמאמרים האלו באמצעות . contact form הטופס ליצירת קשר אודות זולט טוקיי ) הוא מנהל תוכנית Zsolt Tokei זולט טוקיי ( . הוא הצטרף imec של ננו חיבורים פנימיים ב- ומאז מילא תפקידים 1999 לחברה בשנת טכניים שונים בארגון. ראשית כמהנדס תהליכים וחוקר בתחום של חיבורים פנימיים נמוך מנחושת, ולאחר מכן כמוביל k בעלי מקדם המחלקה העוסקת במתכת. בשלב מאוחר יותר הוא הפך למדען הראשי, ולמנהל תוכנית של MS ננו - חיבורים פנימיים. הוא בעל תואר Kossuth ) מטעם אוניברסיטת 1994( בפיסיקה בדרבצן, הונגריה. במסגרת עבודת תזה שבוצעה בהונגריה Kossuth בשיתוף בין אוניברסיטת בצרפת, Aix Marseille - III לבין אוניברסיטת ) בפיסיקה 1997( הוא קיבל תואר פרופסור החל לעבוד 1998 ובמדעי החומרים. בשנת בדיסלדורף, גרמניה, Max - Planck במכון כחוקר בתואר 'פוסט דוקטורט'. עם הצטרפותו המשיך לעבוד על מבחר של נושאי imec ל חיבורים פנימיים, בהם נכללים, היבטי שדרוג, מיתוך, אפיון חשמלי, אינטגרציה של מודולים, אמינות והיבטים מערכתיים.

יישומי המטרה הם ניהול הספקים עבור מרחב של שרתים ומרחב של ניידים, מעגלים לוגיים (עם מערכים גדולים FPGA כפולים, רכיבי VT ), כניסות ויציאות במתח SRAM של זיכרונות גבוה עבור המרת מתח, חוצצי אותות עבור תפיסות נוירו מורפיות. כך התאפשר גם לאתר או אפשר להשתמש DRAM את הדרך בזיכרונות בהם ביישומים של בורר עבור זיכרונות לא נדיפים. החלום האולטימטיבי של חיבורים פנימיים ) repeaters הוא להשתמש בהם כמהדרים ( אשר תופסים נתח גדול של המרחב בתכנונים הקיימים כיום. אבל לצורך זה, נדרשים ומסוג n ) מסוג TFT טרנזיסטורי שכבה דקה ( , האחרונים לא מתקדמים מספיק למימוש p BEOL אמיתי. אתגרים אחרים למימוש כוללים את האמינות והבשלות של טכנולוגית , והעלות – על אף CMOS התהליכים על שבממדים 'רגועים' כאלו אפשר להשתמש ) פשוטה immersion בליטוגרפית טבילה ( בהדפסה יחידה, כדי להפוך את הפתרון לכדאי יותר מבחינת עלות. סיפק לאחרונה הדגמה בחומרה imec הצוות של ) בתחמוצת TFT של טרנזיסטורי שכבה דקה ( 300 ) על פרוסה של IGZO אינדיום, גליום, אבץ ( מ"מ עם זליגה נמוכה, גם בטמפרטורות גבוהות. לסיכום הציגה כמה תרחישים imec במאמר זה, עתידיים שמבטיחים להרחיב את דירוג החיבורים הפנימיים – אשר בעיית השהיית מציבה מולו אתגר – לכיוון של RC גורם ננו מטר ומעבר לכך. 3 צומת בטכנולוגיה של אפשרויות חדשות יאפשרו את שדרוג השטח והעלות (למשל המודול בטכנולוגית דמשק למחצה), מאיצי שדרוג חדשים (לרבות חורי מעבר על לקבלת יכולת ניתוב טובה יותר), חומרים חדשים (כגון מוליכים חלופיים ומרווחי אוויר כחומרים דיאלקטריים) ועל ידי הוספה של השבב. BEOL של פונקציונליות לקצה

מוצרי הליקוילים ללא לשונית- יעילים יותר פשוטים יותר מעלות המערכות 50% חסכון של מעל חסכון בזמן עבודה ובכוח אדם sammy@dusar.co.il דוא“ל: 0505203022 : נייד 039130105 : פקס 03-9130002 :‘ טל 49277 , פתח תקווה 6 רבניצקי חברה להנדסה ולהספקה בע“מ ומעל לכל- מלאי גדול ומגוון. אספקה מיידית דוצר מכריזה על מהפכה במוצרי הליקויל

45 l New-Tech Magazine