ניו-טק מגזין | יוני 2021 | המהדורה הדיגיטלית

באמינותם של חיבורי הביניים בתנאי חום. החוקרים סיכמו כי מבנים היברדיים של מתכת בציפוי גרפן הם פתרון לבעיית השהיית האות צופה שהם יתווספו למפת RC . imec במעגל עבור תהליך BEOL הדרכים של טכנולוגיית ה־ ננומטר. 1 ייצור של כריך של מתכת וגרפן במבט לתהליכי ייצור מתקדמים עוד יותר, את האפשרות לסדר imec בודקים החוקרים ב־ שכבות של גרפן ומתכת לסירוגין על מנת לשפר עוד יותר את מוליכות החשמל. במבנה כזה שבו כל יריעת גרפן נמצאת בין שתי יריעות מתכת נוצר מבנה חדש ושונה שבו יריעת מתכת נמצאת על יריעת גרפן. בדומה למחקר של מבנה מתכת המצופה בגרפן, המגע בין הגרפן למתכת יכול לשנות את תכונות החומר של הגרפן. כמו כן, פיזור המטען בנקודת המגע מאפשר לשנות באופן משמעותי את מבנה רמות האנרגיה של הגרפן. עם זאת, היכולת ליצור מבנה של גרפן מצופה במתכת נותר אתגר הנדסי מורכב. בדרך כלל בנויה שכבת הגרפן (שהועברה) מסיבים בכיוונים שונים ואקראיים, כשקצוות הסיבים משמשים כפגמים קווים ומרכזי התגרענות עבור שיקוע המתכת על המשטח העליון. מבנה זה מקשה על יצירת שכבת מתכת אחידה שתכסה את כל שטח הגרפן בשיטות שיקוע . לא זאת אף זאת, ALD או PVD מסורתיות כמו ההעברה מובילה לזיהום משטח הגרפן ונדרשת שיטת ניקוי מתאימה שלא תגרום נזק לשכבת הגרפן. את משטח imec במחקר במעבדה ניקו חוקרי Ar / הגרפן בפלזמת מימן (באמצעות פלזמה ) ולאחר מכן ציפו אותה במתכת (רותניום) H 2 בשיטת נידוף באמצעות קרן אלקטרונים. בשלב הבא בדקו כיצד משפיעים התהליכים האלה על מוליכות החשמל של מבנה הגרפן בציפוי רותניום. נמצא כי החשיפה לפלזמת של הגרפן N המימן הובילה לאילוח מסוג ולעלייה בריכוז נושאי המטען. לרוע המזל, החשיפה לפלזמה גרמה נזק ליריעת גרפן בודדת. שכבות גרפן עבות יותר היו עמידות יותר. בתנאים האלה, נצפה שיפור בשיעור במוליכות החשמל של מבנה גרפן בציפוי 18% רותניום (לאחר טיפול בפלזמה). אלו תוצאות ראשוניות מבטיחות ואפשר לצפות שמיטוב המבנה כימי של פלזמת המימן, התנאים שבהם מתבצע התהליך והגדלת מספר השכבות במבנה המרובד מתכת־גרפן־מתכת, יובילו לשיפורים נוספים.

מדידת ההתנגדות של יריעת רותניום חשופה (שחור) ויריעת רותניום :3 תמונה « מצופה בגרפן (באדום) עבור עוביים שונים של יריעת רותניום דקה (תרשים זה הוצג .) IITC 2019 בכינוס

) של מספר TEM (משמאל) תמונת מיקרוסקופ אלקטרונים חודר ( : 4 תמונה « קטן של שכבות גרפן שנוקו בפלזמה ומצופות ברותניום; (מימין) עקומות תכונות מציגים את השנוי בזרם ובנקודת המטען הנייטרלי BLG ההעברה של התקני ) עבור גרפן שלא עבר טיפול ושל גרפן שטופל בפלזמה. הקווים המלאים CNPP ( והמקווקווים מייצגים את הגבול העליון והתחתון של עקומות ההעברה, בהתאמה, התקנים. 63 שהתקבלו מבדיקת

New-Tech Magazine l 42