ניו-טק מגזין | יוני 2021 | המהדורה הדיגיטלית

Aix Marseille - בהונגריה ובאוניברסיטת Ph . D תואר 1997 שבצרפת, וקיבל בשנת III הוא 1998 בפיזיקה ובהנדסת חומרים. בשנת Max - התחיל לעבוד כפוסט־דוקטורנט במכון בעיר דיסלדורף שבגרמניה. Planck Institute הוא עובד על מציאת imec מאז שהצטרף ל־ פתרונות לאתגרים מגוונים בתחום חיבורי הביניים, ובהם גודל, מטליזציה, תכונות חשמליות, אינטגרציה של ההתקנים, אמינות ואפיון המערכת.

על מחברי המאמר ) Swati Achra סוואטי אקרה (

עם הפנים אל ייצור תעשייתי... התוצאות האלו מדגימות את פוטנציאל הביצועים של מבנה היברידי של מתכת/גרפן בחיבורי ביניים עבור תהליכי ייצור מתקדמים. עם זאת, קיימים כמה אתגרים שעליהם צריך להתגבר בדרך לייצור חיבורי ביניים מתקדמים מ"מ. לדוגמה: בעוד 300 כאלה בפרסות בגודל שמחקר זה מתמקד בהעברת שכבת הגרפן, דרך מחוכמת יותר לציפוי מתכת בגרפן תהיה גידול יריעת הגרפן ישירות על תבנית המתכת שאותה רוצים לחקור. גידול גרפן באיכות עד 900° C גבוהה דורש טמפרטורות גבוהות ( ) ולכן תהליך זה לא ישים עבור סוגי 1000° C המתכות המשמשות בחיבורי ביניים. מנגד, שיקוע בטמפרטורות נמוכות יותר מוביל ליריעת גרפן באיכות נמוכה יותר. במחקר זה נעשה שימוש בשיטה חלופית שבה מועברת שכבת גרפן באיכות גבוהה שגודלה על יריעות פלטינה בתהליך שיקוע אדים כימי ). שיטת ההעברה הזאת יכולה להיות CVD ( שימושית מאוד בסביבה שבה קיימת מגבלת הדגימה שיטה לקילוף imec טמפרטורה. והעברת גרפן באיכות גבוהה לפרוסות בגודל מ"מ, אבל הצלחתה תלויה מאוד במבנה 300 הטופוגרפי של פני שטח יריעת המתכת. כמו כן, שיטה זאת הופכת את התהליך כולו למורכב וארוך יותר, ולכן מחייבת בקרת אחידות ותהליך קפדנית יותר. יש צורך במחקר נוסף כדי למצוא דרכים למזעור הפגיעה באיכות הגרפן ולשליטה על ממשיכה לערוך imec כיוון שכבות הגרפן. מחקרים בתחום זה במטרה לפתור את בעיות האינטגרציה האלו וכדי להפוך את המבנים ההיברידים של גרפן לטכנולוגיה מסחרית שאותה יוכלו לשלב יצרני מוליכים למחצה בקווי הייצור שלהם. סיכום למבנים היברידיים של גרפן ומתכת יש BEOL פוטנציאל גדול עבור טכנולוגיות ננומטר והלאה. 1 לתהליכי ייצור מתקדמים של במחקר זה נבדקו שני סוגי מבנים: מתכת בציפוי גרפן וסידור של יריעת גרפן בין שתי יריעות מתכת. בשני המקרים, למגע בין הגרפן והמתכת היה תפקיד מרכזי בשיפור ביצועי מוליכות החשמל של חיבור הביניים ההיברידי. אמנם כרגע טכנולוגיית חיבור ביניים על בסיס מתכת בציפוי גרפן היא הבשלה יותר, אבל ייתכן שבעתיד המבנה של שכבת גרפן בין שתי שכבות מתכת יהיה זה שיחליף אותה עבור תהליכי ייצור מתקדמים עוד יותר.

בפקולטה להנדסת PhD לומדת כיום לתואר . היא imec חומרים של אוניברסיטת לוון וב־ imec הצטרפה לצוות ננו־חיבורי הביניים של ועובדת על פיתוח חיבורי ביניים 2017 בשנת על בסיס גרפן עבור הדורות הבאים של תהליכי היא סיימה 2017 ייצור מתקדמים. בשנת ) את לימודיה magna cum laude בהצטיינות ( Erasmus במסגרת תכנית M . Sc לתואר בתחומי הננו־מדעים Mundus Masters וננוטכנולוגיה באוניברסיטת לוון שבבלגיה, Université Grenoble Alpes ובאוניברסיטת שבצרפת. במהלך עבודת התזה שלה היא שבצרפת, Institut Néel , CNRS עבדה במכון שם למדה שיטות להעברה תרמית בגרפן . היא קיבלה מלגת CNT מורחף ובממברנות ) במסגרת L ’ Initiative D ’ Excellence ) IDEX . European Graduate Program תכנית קודם לכן היא עבדה כמתמחת מחקר בצוות שעסק בפיתוח imec החומרים דו־ממדיים ב־ שיטות העברה בעזרת חומרים דיאלקטריים דו־ TMDC עם ספין אלקטרונים של מתכות היא סיימה בהצטיינות 2015 ממדיות. בשנת בהנדסה כימית והנדסת חומרים B . Tech תואר Amrita Vishwa Vidyapeetham באוניברסיטת שבטאמיל נאדו, הודו. ) Inge Asselberghs אינגה הסלברגס ( היא מנהלת תכנית הלוגיקה המחקרית ב־ היא סיימה את לימודיה 1998 . בשנת imec בכימיה באוניברסיטת לוון M . Sc לתואר השלימה 2003 שבעיר לוון שבבלגיה, ובשנת בכימיה באותה Ph . D את לימודיה לתואר אוניברסיטה. לאחר השתלמות פוסט־ דוקטורנטית באופטיקה לא לינארית, היא שבעיר לוון שבבלגיה כחוקרת imec הצטרפה ל־ והייתה מעורבת במחקר לאפיון וייצור התקן המבוסס על חומר דו־ממדי. הוא עמיתמחקר ) Zsolt Tokei זולטטוקיי ( . הוא imec וראש תכנית ננו־מחברי הביניים ב־ ומאז שימש במספר 1999 בשנת imec הצטרף ל־ רב של תפקידים טכניים בארגון. תחילה כמהנדס תהליך וחוקר בתחום חיבורי ביניים נמוך, ולאחר מכן כראש K מנחושת עם ערך ענף המתכות. בהמשך הוא הפך למדען ראשי ולמנהל תכנית חיבורי הביניים הננומטריים. יש ) מאוניברסיטת 1994( . בפיזיקה M . S לו תואר שבעיר דברצן שבהונגריה. הוא Kossuth Kossuth עשה את התזה שלו באוניברסיטת

)Swati Achra( סוואטי אקרה

«

IMEC קרדיט:

) Inge Asselberghs( אינגה הסלברגס

«

IMEC קרדיט:

) Zsolt Tokei( זולט טוקיי

«

IMEC קרדיט:

43 l New-Tech Magazine