New-Tech Magazine | April 2021

Enlight מערכת ה תמונת כותרת: «

טוב יותר ובאופן חסכוני יותר מאשר הגישות המסורתיות.

Enlight ® Optical

Wafer . מערכת 1 החדשה: Inspection System

ישום ביג דאטה ואסטרטגיית : 2 תמונה

שילוב מערכות חכם : 1 תמונה

« בינה מלאכותית בפלייבוק החדש

« באמצעות בינה מלאכותית

Enlight לאחר חמש שנות פיתוח, מערכת משלבת את המהירות המובילה בתעשייה עם רזולוציה גבוהה וטכנולוגיה אופטית מתקדמת לאיסוף יותר נתונים קריטיים לייצור בכל משפרת Enlight סריקה. הארכיטקטורה של את הכדאיות הכלכלית של בדיקת איכות אופטית ומובילה לצמצום של פי שלושה בעלות לכידת הפגמים בהשוואה לגישות מתחרות. המערכת מאפשרת רגישות גבוהה ביותר, הודת ליכולות האופטיות והאלגוריטמיות המתקדמות, במקביל למהירות סריקה מאפשרת ליצרני שבבים Enlight גבוהה, ה להוסיף יותר נקודות בדיקה לתהליך הייצור. זמינות הביג דאטה הנובעת מכך, משפרת את שיטות והבקרה הסטטיסטיות ב"ניטור הקו" המסוגלות לחזות סטיות איכות לפני התרחשותן ולזהות אותן מיד כדי שניתן יהיה לעצור את העיבוד ולהגן על התפוקה, וגם לאתר את שורש הבעיה ובכך להאיץ את ביצוע הפעולות המתקנות לחזור לייצור עתיר נפח. ExtractAI™ . טכנולוגיית 2 , שפותחה על-ידי מדעני ExtractAI טכנולוגיית וביג דאטה של אפלייד, פותרת את הבעיה AI ה הקשה ביותר בבדיקת איכות של פרוסות סיליקון: היכולת להבחין במהירות ובמדויק בין פגמים הפוגעים בכל מנת הייצור מבין מיליוני אותות חסרי משמעות או "רעש". היא הפתרון היחיד בתעשייה שיוצר ExtractAI חיבוריות בזמן אמת בין הביג דאטה שהופקה במערכת הבדיקה האופטית לבין מערכת שמצלמת באמצעות מיקרוסקופ eBeam ה- אלקטרוני דיווחים ספציפיים שדווחו ע"י מערכת הסריקה האופטית. כך שהלקוח יקבל מידע איכותי המאפשר קבלת החלטות – הפקת מידע איכותי מתוך הביג-דאטה. הינה יעילה ביותר - היא ExtractAI טכנולוגיית מאפיינת את כל הפגמים הפוטנציאליים על 0.001% מפת פרוסות הסיליקון לאחר שבדקה בלבד מהדגימות. התוצאה היא מפה של פגמים מסווגים המאפשרת נקיטת פעולה ומאיצה את פיתוח הטכנולוגיה הבאה ומעבר לייצור המוני. הינה סתגלנית ומזהה במהירות AI טכנולוגיית חדשה:

פגמים חדשים במהלך ייצור המוני, תוך שהיא משפרת בהתמדה את ביצועיה ויעילותה ככל שהיא סורקת יותר פרוסות. : SEMVision ® eBeam . מערכת הבדיקה 3 היא טכנולוגיית הבדיקה SEMVision מערכת המתקדמת ביותר בעולם וזו eBeam ב- הנמצאת בשימוש הנרחב ביותר. הודות לרזולוציה של המערכת, המובילה בתעשייה, מאמנת את מערכת SEMVision מערכת לסווג פגמים ExtractAI עם טכנולוגיית Enlight העלולים להרוס את הרכיב ומבחינה בין פגמים לבין רעש. הודות לפעולה משותפת בזמן ExtractAI , טכנולוגיית Enlight אמת, מערכת מסייעות ללקוחות לזהות SEMVision ומערכת פגמים חדשים ומאפשרת תפוקות ורווחיות גבוהות יותר. בסיס ההתקנות הגדול של מאפשר התממשקות SEMVision G 7 מערכות החדשה ולטכנולוגיית Enlight מלאה למערכת . ExtractAI "היכולת להבחין במהירות ובמדויק בין פגמים קריטיים המשפיעים על התפוקה לבין רעש ניסו לפתור fab היא משימה אשר מהנדסי ה- שנה," אמר דן הצ'סון, יו"ר 30 במשך יותר מ- של Enlight . "מערכת VLSIresearch מנכ"ל , ExtratAI אפלייד מטיריאלס, עם טכנולוגיית היא גישה פורצת דרך המתגברת על האתגר. ומאחר והבינה המלאכותית מחכימה ככל שמשתמשים במערכת יותר, היא מסייעת ליצרני השבבים להגדיל את ההכנסות מכל פרוסת סיליקון לאורך זמן." "הפלייבוק החדש של אפלייד לבקרת תהליך הייצור משלב ביג דאטה ובינה מלאכותית בכדי לספק פתרון חכם ואדפטיבי המקצר את משך הזמן הנדרש מלקוחות להגיע לתפוקה מקסימלית" אמר קית' וולס, סגן נשיא ומנהל חטיבת ההדמיה ובקרה באפלייד מטיריאלס. " השילוב של מערכת הסריקה האופטית הטובה איפשר לנו eBeam מסוגה שלנו עם טכנולוגיות ליצור את הפתרון היחיד בתעשייה שמכיל את הבינה הדרושה לא רק כדי לזהות ולסווג פגמים

קריטיים לתפוקה אלא גם ללמוד ולהסתגל לשינויים בתהליך בזמן אמת. יכולת ייחודית זאת מאפשרת ליצרני השבבים לעבור משלב המו"פ ועד לייצור המוני במהירות רבה יותר ולשמור על הרגישות הנדרשת לגילוי הפגמים הקריטיים לאורך מחזור החיים של התהליך." החדשה עם טכנולוגיית Enlight מערכת היא מערכת הבדיקה שאומצה ExtractAI על ידי הלקוחות בשוק בזמן המהיר ביותר בתולדות אפלייד מטריאלס לפיתוח ולייצור דור השבבים הבא וכבר משמשת בייצור אצל foundry - logic כל הלקוחות המובילים של היא המערכת SEMVision בעולם. מערכת כבר יותר eBeam המובילה בשוק לבדיקת מערכות 1,500 שנה עם יותר מ- 20 מ- המותקנות אצל יצרני השבבים ברחבי העולם. אודות אפלייד מטיריאלס אפלייד מטיריאלס היא המובילה באספקת פתרונות בתחום הנדסת חומרים המשמשים לייצור כמעט כל שבב חדש וצג מתקדם בעולם. המומחיות של אפלייד בהנדסת חומרים ברמת האטום עבור התעשייה, מאפשרת ללקוחות להפוך הזדמנויות למציאות, וחידושיה מאפשרים לממש את הטכנולוגיות המתקדמות ולעצב את העתיד. אפלייד מטיריאלס ישראל עוסקת בפיתוח וייצור של מערכות מתקדמות לבקרת תהליך ייצור שבבים, פעילות המהווה חלק בלתי נפרד מהתשתית הקריטית העומדת בבסיס כל מוצר טכנולוגי. כמעט כל השבבים בעולם עברו בתהליך הייצור דרך המכונות של אפלייד מטיריאלס המיוצרות בישראל. פעילות אפלייד מטיריאלס ישראל צמחה והיא צפויה לצמוח בקצב 45% - בכ 2020 בשנת 1,700 - מרשים גם בשנה זו. החברה מעסיקה כ עובדים ומגייסת בקצב מואץ עם למעלה מ- משרות פתוחות בעיקר בתחומי התוכנה, 100 אלגוריתמים, הנדסה, אינטגרציית מוצר ועוד.

27 l New-Tech Magazine