ניו-טק מגזין | דצמבר 2019 - המהדורה הדיגיטלית

MOTION & AUTOMATION מוסף מיוחד

ק"מ: אתגרים באוטומציה 80 - סביב המפעל ב במפעלי מוליכים למחצהמתקדמים

KLA , מור עזריה

ש

מפני זיהום של חלקיקי אבק או מולקולות אחרות שמסתובבות באוויר, ומשמשים להם כקרונות מסע ברחבי המפעל. FOUPs מיותר לציין, כי התחזוקה של ה- מאתגרת. אחד המקרים הנפוצים הוא כאשר פרוסת סיליקון שכבר עברה חריטה פולטת ), המגיב לאדי מים המשייטים CI כלוריד ( באוויר, ויחד נוצרת חומצה הידרו-כלורידית אשר פוגעת באיכותן של פרוסות הסיליקון. אחת השיטות לפתרון הבעיה היא ביצוע תהליך טיהור של החנקן על ידי דחיקה של החוצה. FOUPs חמצן ואדי מים מן ה- וזו רק דוגמא אחת, אולם בהנחה שהמפעל מצליח להתמודד עם האתגרים הכימיים, עדין עומד בפניו האתגר הגדול מכולם: ניהול התעבורה של פרוסות הסיליקון, ק"מ, או 80 - אשר יכולות לעבור מסע של כ יותר, ברחבי המפעל או החדר הנקי. האתגר הראשי: ניהול התעבורה של פרוסות הסיליקון פרוסות הסיליקון הרב-שכבתיות מחייבות תהליך ייצור ארוך ומרובה שלבים. מספר

הדיוק הנדרש בזמן ייצור השבבים הוא רב ביותר, בשעה שהשבב קטן ומדויק אף יותר מעובייה של שערה בודדת. מצעי השבבים או פרוסות הסיליקון ) המפותחים היום בתעשיית Chips Wafer ( שכבות 128 המוליכים למחצה כוללים שכבות. מדוע מייצרים היום 256 ואפילו פרוסות סיליקון רב-שכבתיות? משום שהתעשייה שואפת לדחוס כמה שיותר טרנזיסטורים על גבי אותו רכיב. ואם בעבר עיקר האתגר הטכנולוגי היה כיווץ הטרנזיסטור, היום מעדיפים בתעשייה להמיר את המשך תהליך הכיווץ המורכב והיקר בבנייה לגובה, משל היתה פרוסת הסיליקון ניו יורק או הונג קונג. להגן על פרוסת הסיליקון מכל פגע אחד האתגרים בתעשייה הוא הגנה על פרוסות הסיליקון העדינות והפגיעות. לפיכך, נהוג לאחסן אותן בתוך מיכלים Front Opening Unified Pods המכונים ). מיכלים אלה מגנים על הפרוסות FOUPs (

בבי הסיליקון, הידועים גם כמוליכים למחצה או צ'יפים,

נמצאים כמעט בכל מוצר בו אנו משתמשים, עונדים או לובשים. הטכנולוגיה של שבבי הסיליקון אפשרה לנו למזער מעגלים ורכיבים אלקטרונים בצורה כזו המאפשרת מגוון שימושים רב ונרחב לטובת האנושות. שבבים אלה נמצאים בנטפליקס, באמזון, במכונית האוטונומית, בטלפונים, נייחים או ניידים, במטוסים, בשעונים, במשחקי המחשב, בקופות רושמות ועוד ועוד. מיליון טרה 2.5 כבר היום, האינטרנט מייצר כל אדם בעולם ייצר 2020 - בייט ליום, וב מגה בייט לשניה. כדי לעמוד 1.7 בממוצע בקצב ובקיבולת של הדאטה יש צורך בתעשיית מוליכים למחצה חזקה, יעילה ורווחית. פרוסות סיליקון עם ארכיטקטורה ניו-יורקית שבבי הסיליקון מיוצרים בחדרים נקיים, ללא רבב. הניקיון נדרש על מנת למנוע מגרגר אבק או כל לכלוך אחר להשפיע על תהליך יצור הרכיבים הזעירים. גם

New-Tech Magazine l 44