New-Tech Magazine | September 2017

« משמש MEMS מבנה :5 איור לקביעת תנועה מדויקת

) במטרה עיקרית של system - MEMS צמצום העלות יקריב אופיינית ביצועים, לעתים אף משמעותית. בחירות פשוטות של הפחתת העלות, כגון פחות מסת סיליקון וזיווד מובנה פלסטי מזיקים במידה גדולה . MEMS לביצועי ה- MEMS הפקת מידע מדויק ויציב מהתקן דורש יחס אות לרעש חזק 5 כמו זה באיור המסופק על-ידי משטח ועובי הסיליקון, כמו גם מאמץ ממוזער המוכתב אל הסיליקון על-ידי בחירת זיווד המרכיבים דרך זיוודים ברמת המערכת. עם דרישות של ביצועי משתמש סופי תוך מחשבה על הגדרת החיישן, הסיליקון, השילוב וגישות הכיול/בדיקה ניתנים למיטוב כדי לשמור על ביצועים נאותים אף בסביבות מורכבות, ולמזער עלות. מראה ביצועים בהתקן תעשייתי 5 טבלה ברמה בינונית, בהשוואה לחיישן צריכה אופייני שניתן למצוא בטלפון נייד. (רשום שהתקני תעשייה בעלי רמה גבוהה יותר זמינים גם, והם בסדר גודל טובים יותר מאשר אלה המוצגים). רוב התקני הצריכה ברמה נמוכה אינם כוללים מפרטים עבור פרמטרים דוגמת השפעת התאוצה הליניארית, יישור הרעידות, הליכה זוויתית אקראית ופרמטרים אחרים שיכולים להיות מקורות השגיאה הגדולים ביותר ביישומים תעשייתיים. חיישן תעשייתי זה מיועד לשימוש בתרחיש המנבא תנועה יחסית מהירה או קיצונית ), כאשר מוצא g 40 , מעלות בשנייה 2000( חיישן בעל רוחב פס רחב הוא גם קריטי כדי לאפשר הבחנה טובה ביותר של אות. סטייה מזערית של הקיזוז במשך הפעולה (יציבות בהפעלה) רצויה כדי להקטין את ההסתמכות על מערך גדול יותר של חיישנים משלימים כדי "לתקן" ביצועים,

תעשייתיים MEMS שיפורים המושגים על-ידי התקני :5 טבלה

« «

הקטנת השגיאה בהתקנים תעשייתיים :6 טבלה Hz BW, 2g-rms vibration, 1000/s off-axis rotation 50 : הנחות

הלם, תאוצה, משקל) על סטיית ההתקן, ליניארי. ודרך g ומספק יתרון משמעותי ב- כיול, גם סטיית הטמפרטורה והכוונון MEMS תוקנו. ללא תיקון הכוונון, התקן רב-צירי אופייני, אפילו כאשר הוא משולב במבנה סיליקון יחיד, יכול להיות לא מכוון עד כדי תרומה גדולה לתקציב השגיאה. בעוד הרעש הפך לגורם פחות בולט בין סוגי החיישנים בשנים האחרונות, פרמטרים

ובמקרים אחדים, מזעור הסטייה בהדלקה (הדירות) הוא קריטי ביישומים שאינם יכולים להרשות לעצמם את הזמן הדרוש בשביל תיקונים בסינון המערכת הסופית. מדי-תאוצה בעלי רעש נמוך משמשים בשיתוף עם גירוסקופים כדי לסייע להבחין . g ולתקן כל סטייה הקשורה ל- חיישני הגירוסקופ תוכננו למעשה כדי לבטל (רעידה, g במישרין כל השפעה של אירוע-

New-Tech Magazine l 46