68 / 190
. עקומת היענות לתדר במערכת
1
תמונה
1Hz
שיכוך פאסיבית עם תדר טבעי של
. עקומת היענות לתדר של שיכוך פאסיבי מול אקטיבי
2
תמונה
«
«
ניתן לראות כי כאשר ערך מקדם הריסון
הוא גבוה, מאפייני בידוד הרעידות של
המערכת כמעט נעלמו ואילו כאשר ערך
מקדם הריסון הוא נמוך, נצפית משרעת
תהודה ניכרת. הערך האופטימאלי של
הריסון תואם למקרה בו המשרעת התנודה
(אמפליטודה) עולה בצורה חסרת משמעות
) בסמוך לתדר התהודה של המערכת.
3
dB
(
בתעשיית
High
-
end
באפליקציות
הסמיקונדקטור בה התהליכים כיום
דורשים רזולוציות של ננומטר, נדרשים
ביצועים מתקדמים בכל הקשור ליציבות
במיקום, ריטוט אנכי, זמני תנועה
והתכנסות, שגיאת עקיבה ועוד. ציוד מכונה
מורכב מחובר בצורה כזו או אחרת לשולחן
גרניט שהוא חלק אינטגרלי מפלטפורמת
ההינע. ככזו, כל רעד שקיים ברמת שולחן
הגרניט מתורגם במיישרין לאי דיוקים
או זמני התכנסות ארוכים יותר ברמת
התהליך של המכונה. מכונות המצריכות
ביטול של הפרעות "רעש" אלו מצריכות
פתרונות מתקדמים שיעזרו לבטל את
הרעידות הללו בצורה היעילה ביותר.
מערכת שיכוך אקטיבית
במכונות עם מערכות שיכוך אקטיביות יש
בד"כבנוסףלקפיציםגםרכיבמשוב, המכיל
מספר מדי האצה מסוג פיאזואלקטרי,
מערכת בקרה אנלוגית ומתמר
אלקטרומגנטי (לדוגמא מנוע). הקפיץ
תומך במשקל החלק העליון של השולחן
והמערכת שמונחת עליו. התנועה של החלק
העליון של השולחן נמדדת באמצעות מדי
האצה מסוג פיאזואלקטרים. מדי ההאצה
מייצרים אות אנלוגי המעביר כמשוב את
התזוזה שאובחנה, לתוך בקרי תנועה. בקרי
התנועה מייצרים תנועה נגדית למנועים
היושבים מתחת לחלק העליון של השולחן
ולמעשה מייצרים תנועה הפוכה המבטלת
את התנועה המקורית. כתוצאה ממערכת
המשוב הזו מרסנים את הרעידות, בניגוד
למערכת שיכוך פאסיבית.
מציגה את עקומות ההיענות
2
תמונה
לתדר של מערכת אקטיבית לעומת מערכת
פאסיבית. שני הקווים המקוטעים מייצגים
את ההיענות לתדר במקרה של מערכת
השיכוך הפאסיבית. ניתן לראות בקירוב
את שני שיאי התהודה בציר האופקי
ובציר האנכי בתדר
5
Hz
ובתדר
2
Hz
בתדר
. הקווים הרציפים מציגים את
4.5
Hz
עקומות ההיענות לתדר במערכת שיכוך
אקטיבית. במקרה הזה רואים בבירור,
הן בציר האופקי והן בציר האנכי, שאין
הגבר תדרים, פרמטר חשוב מאוד במרבית
היישומים המעשיים בהם נדרש לבודד את
האובייקט הנבדק, מכל המקורות השונים
של הרעידות.
מערכת שיכוך אקטיבית
ETEL
חדשה מתוצרת
שוויץ, השיקה את המוצר
ETEL
חברת
, שהוא למעשה מערכת בידוד
QuiET
אקטיבית המבטלת כמעט לגמרי, הן את
הרעידות שנוצרות ממקור חיצוני והן
את הרעידות שמגיעות מהמערכת עצמה
דרגות
6
(כתוצאה מהקינמטיקה), לאורך
חופש, המונעים מעבר של ההפרעות
לתהליך המתבצע על גבי פלטפורמת ההינע.
High
במרבית המקרים, אפליקציות קצה (-
) בתעשיית הסמיקונדקטור משלבות
end
ציוד מורכב, שבצורה זו או אחרת, מחובר
לשולחן הגרניט של פלטפורמת ההינע.
בתור שכזה, כל הרעדה בדרגה של שולחן
הגרניט מתורגמת לכדי אי דיוקים וזמני
התכנסות ארוכים יותר בתהליך המתבצע,
במערכת היושבת על שולחן הגרניט.
מאפשר ניטרול
ETEL
הפתרון של חברת
הרעידות בצורה היעילה ביותר אי פעם!
קומפקטי, מודולרי
וניתן להתאימו אישית
שמופיעה בתמונה
QuiET
מערכת ה-
(בעמוד הבא), תוכננה כך שתהיה
3
מודולרית וברת התאמה למגוון רחב של
מכונות. בעת תיכנונה נלקחו בחשבון
רכיבים רבים אקטיבים ופאסיבים,
יכולה לספק פתרון אופטימאלי,
ETEL
ו-
המותאם לצרכים המשתנים של הלקוח.
אקטואטורי לורנץ וסנסורים ייעודיים
משולבים בארכיטקטורה בעלת גובה
נמוך, שתוכננה בצורה אופטימאלית כדי
למלא דרישות מערכת שונות ובמקביל
לאפשר שירותיות קלה בשטח. בקרי ההינע
הם למעשה אותם
QuiET
של מערכת ה-
בקרים של מערכת ההינע עצמה והם כולם
וממוקמים
AccurET
שייכים למשפחת ה-
New-Tech Magazine l 68