3. Calculation of scattered electron fluence
⋅
, ,
,
= −
, ,
,
( )
+න
4
′
න
∞
′
, ,
(
′
,
′
)
→ , ,
′
,
′
; ,
+න
4
′
න
∞
′
, ,
(
′
,
′
)
→ , ,
′
,
′
; ,
න
4
′
න
∞
′
, ,
(
′
,
′
)
→ , ,
′
,
′
; ,
+
∆ , ,
(
′
,
′
)